芯势力 向未来 | 深圳平湖实验室新增一项发明专利授权
专利速递
深圳平湖实验室崔新春等人获得《金刚石衬底及其生长方法、金刚石外延层的生长方法》发明专利授权。
摘要
公开提供了一种金刚石衬底及其生长方法、金刚石外延层的生长方法,涉及半导体技术领域,旨在提高金刚石衬底及金刚石外延层的质量。金刚石衬底的生长方法包括:提供多片金刚石籽晶,金刚石籽晶具有主表面及多个拼接侧面;金刚石籽晶的主表面为(100)取向;主表面具有相邻的掩膜区和非掩膜区;多片金刚石籽晶包括第一籽晶和第二籽晶;在各金刚石籽晶的主表面上形成第一掩膜层,第一掩膜层位于掩膜区;将第一籽晶的一拼接侧面和第二籽晶的一拼接侧面相贴合;采用微波等离子体化学气相沉积法,在第一籽晶和第二籽晶之间的拼缝内、第一籽晶的非掩膜区和第二籽晶的非掩膜区生长单晶金刚石。金刚石衬底用作半导体材料。
专利授权书
撰稿 | 崔新春 等
编辑 | 翟雪婷
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